搜索
●直觀(guān)全面及實(shí)踐性：直觀(guān)展示典型集成電路器件的制造工藝流程，實(shí)驗箱液晶顯示屏模擬真實(shí)工藝設備的參數設定，增強工藝教學(xué)的實(shí)踐性。
●與時(shí)俱進(jìn)及可拓展性：產(chǎn)品包含當前最新器件的制造工藝流程（如 FinFET、SOI 等），預留 1 個(gè)定制按鍵用于用戶(hù)特殊器件工藝的定制需求，集成電路工藝模擬器可以根據行業(yè)工藝技術(shù)的發(fā)展進(jìn)行同步更新。
當前我國最先進(jìn)的集成電路量產(chǎn)工藝已經(jīng)進(jìn)入到14nm，以EUV光刻機為代表的工藝制造設備價(jià)格極其昂貴，高校很難采購這類(lèi)設備用于教學(xué)，同時(shí)，新手操作容易損壞，又有一定的危險性，使得高校集成電路工藝教育與真實(shí)工藝線(xiàn)人才需求脫節。為此，我們研發(fā)了14nm集成電路工藝套件。
該套件包含如下內容
1. 完整的14nm工藝線(xiàn)虛擬制造設備操作：氧化爐、CVD設備、PVD設備、刻蝕機、離子注入機、退火設備、外延設備。
2. 完整的14nm工藝線(xiàn)虛擬制造步驟及晶圓微觀(guān)結構、參數特性、電學(xué)特性等：氧化、淀積、光刻、刻蝕、離子注入、擴散、退火、外延。
3. 完成的14nm工藝線(xiàn)典型器件制造步驟及器件微觀(guān)結構、參數特性、電學(xué)特性等：14nm FinFET；GaAs；LDMOS；MOSFET；BJT；DIODE；RESISTOR。
4. 完善的工業(yè)級集成電路版圖設計，包含基本器件單元和電路的版圖設計及GDSⅡ文件的導入和導出。
5. 7nm微納電子教學(xué)套件銜接，實(shí)現從工藝制造到器件測試完整過(guò)程。
微信公眾號微信公眾號微信公眾號微信公眾號
? Power By Bayhiwin
